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recipe;recipe如何管理?
2023-12-01
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recipe如何管理?在半导体制造领域中,半导体工艺配方(Recipe)是记录半导体生产工艺的文件,可以包括多个生产步骤,每个生产步骤中的各种工艺参数值,以及每个生产步骤的持续时间等
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